洁净氮气柜
2023-12-091193 次
★洁净氮气柜产品说明：
● 控制方式：采用湿度/氧含量控制的方法。
● 100级高洁净过滤器FFU采用美国等进口品牌。
● 静音离心风机采用德国等进口知名品牌。
● 采用可选配高品质静电消除装置。
● 对氮气进行前期洁净预处理。
● 采用双数显式控制器，对箱内湿度或含氧量进行显示和控制(二选一)。设备具有很好的密封性能，尘埃过滤，水平或垂直送风。
● 设备可由湿度和氮浓度检测显示,氮气流量控制,高洁净过滤器受阻等多个系统.
● 控制仪可选配置进行温湿度含氮量数据的实时显示,输出和报警功能。
● 模组化设计：本机器采用独特的模组化设计，温湿度显示器、控制系统、除尘系统及除静电系统均能快速更换，保养及维修简便，大大提升维护效率。
★产品应用：
● 适合半导体前端单晶硅制程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒，返雾现象;由于大部分的存储柜或者是氮气柜设计都为全封闭环境，只控制湿度及氧含量浓度这块，并无自净功能,故内部容易积聚大量灰尘，而这些灰尘极可能粘附在存储品上。洁净氮气柜则适合存放需要低湿保存，同时又需要避免灰尘污染的物品.
★规格参数：
● 洁净等级：Class 100
● 规格尺寸：W1310*D800*H1990mm
● 材 质：SUS304双镜面
● 洁净等级：Class 100
● 除湿等级：5RH%以下
● 温度精度：±1℃
● 湿度精度：±3%RH
● 层 数：3层
● 电 压：220V 50Hz
★技术指标：
1)洁净等级
专业高效洁净过滤装置，滤网采用进口超细玻璃纤维,确保洁净柜内CLASS 100~1000级。
2)TDH参数
即存放在洁净柜内经过干燥2小时的硅片不能有不正常或超标返颗粒的现象产生。
3)降湿速度
除湿性能可达到5%以下,空柜或每层放置固定盒，在氮气流量不大于70L/M的情况下，湿度从50%降至10%所需时间不大于30min;
4) 进口无尘风机：采用进口无尘室专用FFU风机，面风速：0.3～0.45m/s;
5)静电残余值(选配)
洁净氮气柜内放置的硅片盒，经过干燥2小时后，硅片盒取样及定点测试静电值必须≦1kv
6)风速均匀性
洁净柜内有氮气的无死角，可使用风速测定仪来检测内部硅片放置各点的风速，不能有较大差异。
7)温湿度显示管理。
温湿度显示：采用4英寸超大LED显示，有效视距可达30米;
温湿度显示监控: 可对温湿度作24小时不间断的监控，在洁净柜在完全关闭的情况下，湿度不能有超过±5%RH的波动。
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